2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[13p-D1-1~11] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2015年3月13日(金) 16:15 〜 19:15 D1 (16-101)

18:00 〜 18:15

[13p-D1-7] 酸素ラジカル支援PLD法による酸化ガリウム系混晶薄膜の成長

〇若林 諒1、服部 真依1、大島 孝仁1、佐々木 公平2、増井 建和2、倉又 朗人2、山腰 茂伸2、吉松 公平1、大友 明1, 3 (1.東工大院理工, 2.タムラ製作所, 3.元素戦略)

キーワード:酸化ガリウム、PLD