[13p-P13-1~4] 9.3 ナノエレクトロニクス

[13p-P13-4] 高温環境下における白金ナノギャップ電極の抵抗値保持特性

〇菅 洋志¹、柏原 翔太¹、塚越 一仁²、清水 哲夫³、内藤 泰久³ (1.千葉工大, 2.物材機構, 3.産総研)

キーワード：ナノギャップ、不揮発性メモリー