[13p-P5-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[13p-P5-10] Pt担持TiO₂ハイブリッド薄膜を用いたリソグラフィプロセスⅡ

猪岡 航介¹、〇前田 篤志¹、松田 厚範² (1.府大高専, 2.豊橋技科大)

キーワード：光触媒、リソグラフィ