[13p-P7-1~12] 6.5 表面物理・真空

△ [13p-P7-12] 動的Shirley法を活用したXPS定量分析の安定性向上

〇(B)松本 凌¹、田中 博美¹、吉川 英樹²、田沼 繁夫²、吉原 一紘³ (1.米子高専, 2.物材機構, 3.オミクロンナノテクノロジージャパン)

キーワード：X線光電子分光、定量分析、動的Shirley法