[14a-A19-1~12] 2.2 検出器開発

[14a-A19-10] 重イオンマイクロビームを利用した4H-SiCショットキーバリアダイオード中の欠陥評価

〇(M1C)神林 佑哉^{1, 2}、安藤 裕士¹、加田 渉¹、小野田 忍²、牧野 高紘²、星乃 紀博³、土田 秀一³、花泉 修¹、神谷 富裕²、大島 武² (1.群馬大, 2.原子力機構, 3.電中研)

キーワード：誘起過渡電荷分光法、過渡容量分光法、炭化ケイ素