[14a-A24-1~12] 13.3 絶縁膜技術

[14a-A24-9] 原子マッチングを利用した結晶性La₂O₃ high-k/Ge(111)構造の作製

〇金島 岳¹、梶原 康裕¹、銭高 真人¹、山田 晋也¹、浜屋 宏平¹ (1.阪大基礎工)

キーワード：高誘電率絶縁膜