[14a-A25-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[14a-A25-10] 真空蒸着法により作製したBaSi₂薄膜の膜厚による影響

〇中川 慶彦¹、原 康祐^{2, 3}、末益 崇^{3, 4}、宇佐美 徳隆^{1, 3} (1.名大工, 2.山梨大, 3.JST-CREST, 4.筑波大)

キーワード：バリウムシリサイド、真空蒸着