09:30 〜 09:45
▲ [14a-A27-3] InGaAs quantum dot fabrication by a top-down approach for optical devices applications: effect of nanoscale etching mask
キーワード:Neutral beam,InGaAs,bio-nano-process
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
2015年3月14日(土) 09:00 〜 13:00 A27 (6A-202)
09:30 〜 09:45
キーワード:Neutral beam,InGaAs,bio-nano-process