[14a-B4-1~13] 15.6 IV族系化合物

△ [14a-B4-2] 4H-SiCの電気化学エッチングにおけるサイドエッチングの異方性

〇山下 尚人¹、佐藤 孝亮²、木本 恒暢²、須田 淳² (1.京大工, 2.京大院工)

キーワード：炭化ケイ素、MEMS、エッチング