[14a-D12-1~9] 1.6 計測技術・計測標準

[14a-D12-4] キャビティリングダウン分光法によるガス中微量水分の自動測定システ

〇阿部 恒¹、リサク ダニエル²、シガン アガタ²、チュレオ ローマン² (1.産総研, 2.コペルニクス大学)

キーワード：高純度ガス、標準、ppb