[14a-D7-1~12] 17.4 デバイス応用

[14a-D7-7] トップゲート型サスペンデッドグラフェンNEMSスイッチの特性評価

〇(M2)筑葉 拓生¹、ムルガナタン マノハラン¹、水田 博^{1, 2} (1.北陸先端大, 2.サザンプトン大)

キーワード：グラフェン、NEMS