[14p-D7-1~6] 17.4 デバイス応用

△ [14p-D7-3] Au/Cr/MoS2 系におけるCr 薄膜化によるコンタクト抵抗特性の改善

〇佐野 宏亮¹、高橋 綱己^{1, 2}、内田 建^{1, 2} (1.慶應大理工 電子工, 2.JST CREST)

キーワード：MoS2、コンタクト、熱応力