[14p-D7-7~9] 17.1 成長技術

[14p-D7-9] ミストアニールによる二硫化モリブデン(MoS₂)層状膜作製への挑戦

〇(B)佐藤 翔太¹、川原村 敏幸^{1, 2}、古田 守^{2, 3} (1.高知工大シス工, 2.総研, 3.環境理工)

キーワード：二硫化モリブデン、新アニールプロセス、硫化