16:00 〜 16:15 [16p-B3-9] ヘテロエピタキシャル成長時における薄膜ストレス遷移と表面形態の相関 〇魚住 雄輝1,2、山崎 竜也3、朝岡 秀人1 (1.原子力機構、2.日立パワー、3.エイコー)