13:30 〜 15:30 [13p-P4-3] ヘリウムイオン顕微鏡技術を用いたSi・Au表面での微細加工の検討 〇前田 悦男1、米谷 玲皇1、飯島 智彦2、右田 真司2、小川 真一2 (1.東大工、2.産総研)