14:30 〜 14:45 △ [14p-B6-3] 陽子線照射したP(VDF/TrFE)膜のウェットエッチング特性の照射量依存性 〇早川 志文1、林 秀臣1、小池 義和1、西川 宏之1 (1.芝工大)