17:15 〜 17:30 [15p-A25-16] DCメタンプラズマCVD法によるSi基板上ナノダイヤモンド合成に関する研究 〇内田 和希1、小林 友樹1、縄田 悠人1、内藤 正路1、碇 智徳2、長井 達三3、生地 文也3 (1.九工大院、2.宇部高専、3.九共大総研)