13:30 〜 15:30 [15p-P3-27] 分子プレカーサー溶液を用いたESD法によるZnO膜の形成条件の検討 〇(M1)小澤 竜平1、工藤 幸寛1、永井 裕己1、佐藤 光史1、高橋 泰樹1 (1.工学院大)