16:00 〜 18:00 [13p-P7-1] 赤外線センサ検知部材料のためのTa,Wドープ酸化バナジウム膜の形成(Ⅴ) 新井 大輝1、齋藤 和弘1、渡邊 良祐1、〇齋藤 洋司1 (1.成蹊大院理工)
16:00 〜 18:00 [13p-P7-2] ボロメータ型赤外線センサのためのニオブ・タングステンドープ酸化バナジウム膜の形成 北野 玲1、加藤 拓也1、渡邊 良祐1、〇齋藤 洋司1 (1.成蹊大院理工)