15:15 〜 15:30 △ [16p-B1-7] AlGaN系HFET型光センサのSiNxパッシベーション効果 〇牛田 彩希1、吉川 陽1,3、岩谷 素顕1、竹内 哲也1、上山 智1、赤﨑 勇1,2 (1.名城大・理工、2.名古屋大・赤﨑記念研究センター、3.旭化成)