16:30 〜 16:45 △ [16p-B1-12] 電極プロセスがAlGaN/GaN HEMTの耐圧に与える影響 〇牧野 伸哉1、大井 慎太郎1、山崎 泰誠1、Asubar Joel1、徳田 博邦1、葛原 正明1 (1.福井大院工)