13:30 〜 15:30 [15p-P11-3] AuGe/Au積層膜のアニールによるGe結晶薄膜の作製(1) 〇阿久津 敏1、神子 公男2、弓野 健太郎1,3 (1.芝浦工大、2.東大生研、3.SITグリーンイノベーション研究センター)