13:30 〜 15:30 [15p-P11-5] AuとGeの同時スパッタによるGe薄膜の結晶化 (Ⅲ) 〇高鳥毛 怜1、神子 公男2、弓野 健太郎1,3 (1.芝浦工大、2.東大生研、3.SITグリーンイノベーション研究センター)