10:45 〜 11:00 [14a-B4-2] 櫛形PN接合型Si光変調器におけるイオン注入による横方向不純物分布の影響 〇(M2)武内 和治1,2、韓 在勲1,2、竹中 充1,2、高木 信一1,2 (1.東大院工、2.JST-CREST)