13:45 〜 14:00 △ [15p-A25-3] 電圧印加による水平配向単層カーボンナノチューブギャップの一方向エッチング 〇大塚 慶吾1、井ノ上 泰輝1、千足 昇平1、丸山 茂夫1,2 (1.東京大工、2.産業技術総合研究所)