13:30 〜 15:30 [16p-P7-4] アルゴンガスクラスターイオンビームエッチングと組み合わせた飛行時間型二次イオン質量分析法およびX線光電子分光法を用いた有機EL素子の劣化原因の検討 〇松尾 修司1、三井所 亜子1、横田 嘉宏1 (1.コベルコ科研)