10:45 〜 11:00 [14a-A26-7] 各種DLC膜表面に対する酸素プラズマ処理効果の検討 河内 佑太1、平塚 傑工2、坪井 仁美2、中森 秀樹2、本間 章彦1、平栗 健二1、〇大越 康晴1 (1.電機大、2.ナノテック(株))