13:30 〜 15:30 [14p-P10-17] 極薄チャネルZnO-TFTにおける熱処理の効果 〇(M2)池内 達紀1、若林 岳1、佐々木 涼介1、高木 誠也1、村中 司1、鍋谷 暢一1、松本 俊1 (1.山梨大院総研)