09:00 〜 09:15 [14a-A37-1] PLD法によりSiOターゲットから作製したSiO2薄膜の表面ラフネス評価 〇西 慎太郎1、上岡 聡史1、谷脇 将太1、吉田 晴彦1、新船 幸二1、佐藤 真一1、堀田 育志1 (1.兵庫県立大学)