オープンクリーンシステムKOACH、静電塗布装置PDR-04、HVA社製手動ゲートバルブ、H-Square社製ハンドリングツール、極低温プローバーパネル

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●サファイア、ダイヤモンド結晶育成・加工技術 ●精密微細加工 ●小型基板洗浄装置『Ecclear -エクリア』

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高感度CCD/EMCCD/ICCD検出器、無収差型分光器

完全無冷媒MPMS3（磁気特性測定装置）,完全無冷媒PPMSシリーズ（EverCoolII, Dynacool, VersaLab)

分光エリプソメーター、ライフタイム測定装置、DLTS、AFM

卓上型走査電子顕微鏡

■EPIREVO G8 枚葉式200/150mm GaN-on-Si MOCVD装置 ■EPIREVO S6 枚葉式150/100mm SiCエピタキシャル成長装置 ■HT2000FD 枚葉式200mm シリコンエピタキシャル成長装置

Nature Research ポートフォリオをご紹介いたします。今年1月に創刊した月刊オンラインジャーナルNature EnergyとNature Reviews Materials。また、6月にリリースしたNature Research Solutionsからナノテク分野に特化したソリューションデータベースNano。Nanoでは、実際のサイトにアクセスいただけます。

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