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■真空はんだフロー装置 ■マニュアルプローバー ■真空ガス置換炉高速熱処理装置 ■4深針プローバー ■ワイヤーボンダー ■ダイボンダー
原子層堆積装置 ダイレクトリキッドインジェクションCVD 高温アニール装置
【ファイファーバキューム社】 ・ターボ分子ポンプ HiPaceシリーズ ・ターボ分子排気ユニット Hicubeシリーズ ・耐放射線真空計 TPG300シリーズ ・四重極質量分析計 PrismaPlus ・ヘリウムリークディテクタ ASMシリーズ
低温大気圧プラズマ装置。真空チャンバーが不要、且つ低温のプラズマは照射対象を選びません。大気圧プラズマが照射されると、光に加えて「酸素ラジカル」、「窒素ラジカル」等が照射されます。ラジカルが化学反応を促進し、興味深い様々な現象が、近年多く研究報告されています。
真空ポンプ、冷凍機、飛行時間型原子散乱表面分析装置、真空薄膜形成装置 / 成膜装置
MPPC/MPPCモジュール、マイクロPMTアッセンブリ、深紫外光源UVCL、テラヘルツ光伝導スイッチモジュール
■各種レーザー(SLMレーザー含む) ■ピエゾモーターステージ ■IBSコーティングミラー及び光学部品 ■ハンディタイプ膜厚計 ■超微小CMOSカメラ ■タグレンズ
小型スパッタリング装置、真空蒸着装置、スパッタカソード
走査プローブ顕微鏡
Rfプラズマソース、バルブドクラッカーセル、クヌーセンセル各種
半導体フォトカソード電子銃
特殊流体制御機器、バルブ、継手、集積化ガスシステム
分子シミュレーションソフト(SCIGRESS & SCIGRESS ME)
(1)MM-3 多波長照射分光器 (2)MK-300 イメージング分光器
パネル2~3枚、小型電源1台、会社案内パンフレット
■DC/パワーデバイス/RF測定用マニュアル・セミオートプローバー、高周波プローブ・校正基板・校正ソフトウェア
TBD