[13a-A21-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[13a-A21-5] レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡によるGaN系UV-LEDの特性評価

〇西村 辰彦¹、北村 藤和¹、水端 稔¹、中西 英俊¹、酒井 裕司²、川山 巌²、斗内 政吉² (1.SCREEN、2.阪大レーザー研)

キーワード：テラヘルツ波、窒化ガリウム、紫外線LED

レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡(LTEM)は、試料にフェムト秒レーザーパルスを照射し、放射されるTHz波を検出することで分析を行う技術である。我々はLTEMを太陽電池評価やGaNウェハ評価に適用してきた。一方、GaN系青色･紫外線LEDは産業用途として高い光強度が要求されるが、駆動に伴う特性劣化が指摘されている。今回、我々は、光量低下したGaN系UV-LEDをLTEMによって計測した。当日は、光量低下のないLEDとの比較・考察について説明する。