[13a-A25-1~11] 7.4 量子ビーム界面構造計測

[13a-A25-1] 拡張した中性子反射率法による埋もれた薄膜界面のビジュアリゼーション

〇桜井 健次^1,2、Jiang Jinxing^2,1、水沢 まり^3,1、伊藤 崇芳³、阿久津 和宏³、笠井 聡³、宮田 登³ (1.物材機構、2.筑波大、3.CROSS東海)

キーワード：イメージング、全反射、J-PARC

中性子反射率の技術を拡張しイメージング機能を付与することにより、埋もれた層・界面を可視化することに成功した。薄膜・多層膜の機能は、基本的な膜構造が同じでも各層・各界面の不均一さにより左右される場合が少なくない。こうした課題に応えるための現在までの取り組み状況を最新画像ととともに報告し、今後の計画を議論する。