[13a-A31-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[13a-A31-3] 走査型ヘリウムイオン顕微鏡（HIM）を用いた試料温度・電圧制御下での二酸化バナジウム（VO₂）膜ドメインの評価

〇小川 真一¹、飯島 智彦¹、神吉 輝夫²、田中 秀和² (1.産総研ナノエレ、2.阪大産研)

キーワード：ヘリウムイオン顕微鏡、電位コントラスト、二酸化バナジウム

酸化物エレクトロニクス材料として注目されているVO2膜の数um～100nmサイズの電子相ドメインをヘリウムイオン顕微鏡を用い、試料室内で温度、電圧制御下で観察し、VO₂膜のドメイン構造変化を材料、電位両コントラストを用いて観察することができた。コントラストにより試料内の100nmオーダー領域での電位分布の評価も可能と考える