2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ診断・計測

[13a-B7-1~11] 8.2 プラズマ診断・計測

2016年9月13日(火) 09:00 〜 11:45 B7 (展示ホール内)

松井 信(静岡大)

09:00 〜 09:15

[13a-B7-1] プラズマ曝露中におけるGaNのダメージ形成過程の調査

〇(M2)伴野 良継1、小川 大輔1、中村 圭二1 (1.中部大工)

キーワード：PID、フォトルミネッセンス、塩素