[13a-B9-1~11] 8.4 プラズマエッチング

△ [13a-B9-8] 一酸化炭素プラズマからのイオン照射によるニッケルスパッタリングの解析

〇熊本 顕人¹、Mauchamp Nicolas¹、礒部 倫郎¹、溝谷 浩平¹、李 虎¹、伊藤 智子¹、唐橋 一浩¹、浜口 智志¹ (1.阪大工)

キーワード：ニッケルスパッタリング