[13a-D61-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[13a-D61-11] ナノインプリントにおける離型材料の最適化

シャルワン フローリアン^1,2、安田 雅昭¹、川田 博昭¹、〇平井 義彦¹ (1.阪府大工、2.ENSEA)

キーワード：ナノインプリント、離型、材料特性

ナノインプリントにおけるモールドの複製プーセスにおいて、モーネド材料特性の最適化を計算機実験により行った