[13a-D61-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[13a-D61-6] Siナノウォール構造の作製

〇篠塚 敦史¹、徐 学俊¹、澤野 憲太郎¹、吉葉 修平²、平井 政和²、市川 幸美^1,2、小長井 誠^1,2 (1.東京都市大学、2.科学技術振興機構)

キーワード：Siナノウォール、太陽電池