[13a-D63-1~8] 1.6 超音波

△ [13a-D63-4] LiNbO₃・LiTaO₃薄板と高音速基板の接合によるリーキー系SAWの高結合化

〇(M2)五味 将史¹、片岡 拓哉¹、林 純貴¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大院医工)

キーワード：リーキー系SAW、水晶、サファイア

LiNbO₃(LN)・LiTaO₃(LT)薄板と，水晶やサファイアなどの高音速基板との接合によるLSAWと縦型LSAWの高結合化を提案する．接合構造上のLSAWと縦型LSAWについて理論的に解析した結果，LN・LT単体よりも結合係数K²が2~3倍に増加することを明らかにした．X36°Y-LNと/サファイア接合試料上の縦型LSAWのK²を測定した結果，LN単体の10.6%から19.7%に増加した．