[13p-A31-1~10] STMノーベル賞&AFM発明30周年記念シンポジウム　～プローブ顕微鏡のこれまでとこれから～

[13p-A31-5] 原子分解能原子間力顕微鏡法の歴史と現状

〇森田 清三¹ (1.阪大)

キーワード：原子間力顕微鏡法

原子間力顕微鏡が1985年に発明されてから30年経過した。その間、原子分解能でフォース・カーブを測定する力学物性評価機能、水平・垂直の交換型原子操作/組立機能、フォース・カーブ測定による半導体元素識別機能などが、室温AFMでも実現した。現在は、AFMにSTMの機能が組み込まれたAFM/STMの時代となっている。本講演では、このような原子分解能原子間力顕微鏡法の歴史と現状を紹介する。