[13p-A32-1~8] 薄膜・表面分野で活躍する女性研究者

[13p-A32-4] 放射光ナノ顕微分光によるエネルギーデバイス界面のオペランド測定

〇永村 直佳¹、堀場 弘司²、尾嶋 正治³ (1.物材機構、2.KEK物構研、3.東大放射光)

キーワード：放射光、光電子分光、界面

バルク材料では気にならないナノ構造機能材料の表面反応や異種接合界面の状態を知るには、イメージング分析技術が必須である。我々がSPring-8で立ち上げた走査型光電子顕微分光装置”3D nano-ESCA”は、放射光X線を利用し、埋もれた界面を非破壊分析でき、高い空間・エネルギー分解能の組成・結合状態・電子状態のデバイス動作中(オペランド)解析を行える。本講演ではトランジスタや二次電池正極材等の解析例を中心に、自身の研究経歴も紹介する。