A PIC-MCC plasma model created on COMSOL Multiphysics

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.8 Plasma Electronics English Session

2016年9月13日(火) 14:45 〜 16:15 A41 (国際会議室)

15:00 〜 15:15

〇Ayuta Suzuki¹、Satoru Kawaguchi²、Masaaki Matsukuma¹、Kazuki Denpoh¹ (1.Tokyo Electron Ltd.、2.Muroran Inst. of Technol.)

キーワード：PIC-MCC, Plasma simulation