[13p-B12-1~18] 2.2 検出器開発

[13p-B12-16] 低加速SEMのためのSTJ X線検出器を用いた軟X線分光器の開発

〇藤井 剛¹、浮辺 雅宏¹、志岐 成友¹、大久保 雅隆¹ (1.産総研)

キーワード：X線分光器、超伝導トンネル接合、走査型電子顕微鏡