2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 古くて新しい点欠陥 ~材料を越えた視点から見えてくるもの~

[13p-B8-1~10] 古くて新しい点欠陥 ~材料を越えた視点から見えてくるもの~

2016年9月13日(火) 13:45 〜 18:00 B8 (展示ホール内)

小野 敏昭(SUMCO)、沓掛 健太朗(東北大)

16:15 〜 16:30

[13p-B8-6] Si中Cu4複合体と水素の不純物反応

白井 光雲1、藤村 卓巧1 (1.阪大産研)

キーワード:銅複合体

シリコン中のCu4個からなる複合体欠陥は非常に安定であるにも関わらず、水素が入ると容易に壊変する。その機構を理論から解明する。実際にはCu4が分解されるのではなく、Cu4に4個までの水素が結合するより巨大な複合体を形成することが判明した。