[13p-C31-1~11] 7.1 X線技術

[13p-C31-10] レーザー生成プラズマ源用SnO₂バブルターゲットの開発

〇庄司 俊太郎^1,2、Musgrave Christopher²、長井 圭治^1,2 (1.東工大院、2.東工大化生研)

キーワード：極端紫外光、プラズマ、材料