[13p-D61-1~8] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

△ [13p-D61-4] サファイア基板表面のナノファセット構造によるZnTe薄膜の配向制御

〇中須 大蔵¹、孫 惟哲¹、小林 正和^1,2、朝日 聡明³ (1.早大先進理工、2.早大材研、3.JX金属)

キーワード：テルル化亜鉛、サファイア、ナノファセット構造

我々はZnTeを用いたテラヘルツ波検出素子応用に向け、ZnTe薄膜/サファイア基板構造に注目している。サファイアm面基板を熱処理すると、ナノファセット構造が現れることを報告しており、今回、m面を基準にし、c軸方向に傾斜角度をつけた基板を熱処理した場合、どこまでの傾斜角度範囲でナノファセット構造が形成されるか、また、その基板上にZnTe薄膜を作製し、ZnTe薄膜の配向を制御することが出来るか評価した。