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△ [13p-D61-8] 近接昇華法によるGa2Te3/Ag2Te積層構造からのAgGaTe2薄膜作製
キーワード:カルコパイライト、近接昇華法、太陽電池
CdTe太陽電池は世界でも広く開発が行われているが、Cdが含まれているため環境への懸念がある。そこでCdをAgとGaで置き換えたAgGaTe2に着目してきた。本研究ではそれぞれの膜厚を制御することで組成制御が比較的容易に行えるGa2Te3/Ag2Teという2層構造に着目し、AgGaTe2薄膜の形成をGa2Te3/Ag2Teを連続して堆積させることにより試みた。Ga2Te3堆積中にGa2Te3/Ag2Te層の再結晶化が同時に起こり、ポストアニールを行わずにAgGaTe2膜が形成されていることが明らかとなった