[13p-D62-1~14] 6.4 薄膜新材料

[13p-D62-10] 大気開放型CVD法によるYSZ膜の合成

〇小堀 泰佑¹、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大)

キーワード：大気開放型CVD法