[13p-P5-1~64] 17 ナノカーボン（ポスター）

[13p-P5-31] RF誘導加熱による微傾斜Si面SiC(0001)上エピタキシャルグラフェン形成の昇温プロファイル依存性

〇和田 拓也¹、道幸 雄真¹、今井 宏友¹、橋本 明弘¹ (1.福井大院工)

キーワード：グラフェン、Si昇華法