[13p-P7-1~17] 6.4 薄膜新材料

[13p-P7-1] 赤外線センサ検知部材料のためのTa，Wドープ酸化バナジウム膜の形成(Ⅴ)

新井 大輝¹、齋藤 和弘¹、渡邊 良祐¹、〇齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：ボロメータ、相転移、酸化バナジウム

ボロメータ型センサ用材料としてVO₂中にタングステン(W)とタンタル(Ta)を添加することにより、比較的高いTCRを維持しつつ相転移温度の低い材料の開発を目指している。Wのドープ量を1％以上に増やし、不純物のドープ量がTCR・ヒステリシス・相転移温度にどのような影響を及ぼすかを引き続き調べた。